Photolithographie ist ein Prozess, der in der Mikrofabrikation verwendet wird, um geometrische Muster auf einen Film oder ein Substrat zu übertragen. Geometrische Formen und Muster auf einem Halbleiter bilden die komplexen Strukturen, die es Dotierstoffen, elektrischen Eigenschaften und Drähten ermöglichen, einen Sch altkreis zu vervollständigen und einen technologischen Zweck zu erfüllen.
Was ist der Fotolithographieprozess?
Photolithographie, auch optische Lithographie oder UV-Lithographie genannt, ist ein Prozess, der in der Mikrofabrikation verwendet wird, um Teile auf einem dünnen Film oder dem Hauptteil eines Substrats (auch Wafer genannt) zu strukturieren. … In komplexen integrierten Sch altkreisen kann ein CMOS-Wafer den fotolithografischen Zyklus bis zu 50 Mal durchlaufen.
Was ist der Mikrofabrikationsprozess?
Mikrofabrikation ist der Prozess zur Herstellung von Miniaturstrukturen im Mikrometerbereich und kleiner. … Die wichtigsten Konzepte und Prinzipien der Mikrofabrikation sind Mikrolithographie, Dotierung, Dünnschichten, Ätzen, Bonden und Polieren.
Was ist ein Lithographieprozess in Halbleitern?
Ein Halbleiter-Lithographiesystem führt einen Prozess durch, bei dem hochkomplexe Sch altungsmuster, die auf einer Fotomaske aus einer großen Glasplatte gezeichnet sind, mit ultrahochleistungsfähigen Linsen reduziert und auf ein Siliziumsubstrat, bekannt als, belichtet werden.eine Waffel. …
Was ist Lithographie im Herstellungsprozess?
Lithographie istder Vorgang des Übertragens von Mustern geometrischer Formen in einer Maske auf eine dünne Schicht aus strahlungsempfindlichem Material (Resist genannt), das die Oberfläche eines Halbleiterwafers bedeckt. Abbildung 5.1 zeigt schematisch den lithografischen Prozess, der bei der IC-Fertigung verwendet wird.
