Photolithographie wird häufig verwendet, um Computerchips herzustellen. Bei der Herstellung von Computerchips ist das Substratmaterial ein mit Resist bedeckter Siliziumwafer. Dieser Prozess ermöglicht es, Hunderte von Chips gleichzeitig auf einem einzigen Siliziumwafer zu bauen.
Wie wird Fotolithographie durchgeführt?
Photolithographie verwendet drei grundlegende Prozessschritte, um ein Muster von einer Maske auf einen Wafer zu übertragen: beschichten, entwickeln, belichten. Das Muster wird während eines nachfolgenden Prozesses in die Oberflächenschicht des Wafers übertragen. In einigen Fällen kann das Resistmuster auch verwendet werden, um das Muster für einen abgeschiedenen Dünnfilm zu definieren.
Was ist Photolithographie und wie funktioniert sie?
Photolithographie ist ein Musterungsprozess, bei dem ein lichtempfindliches Polymer selektiv durch eine Maske belichtet wird, wodurch ein latentes Bild im Polymer zurückbleibt, das dann selektiv aufgelöst werden kann, um ein Muster bereitzustellen Zugang zu einem darunter liegenden Substrat.
Was ist Photolithographie und wie wird sie zur Implementierung von Transistoren verwendet?
Es verwendet Licht, um ein geometrisches Muster von einer Fotomaske (auch als optische Maske bezeichnet) auf einen fotoempfindlichen (dh lichtempfindlichen) chemischen Fotolack auf dem Substrat zu übertragen. … Es bietet eine präzise Kontrolle über die Form und Größe der erstellten Objekte und kann kostengünstig Muster auf einer gesamten Oberfläche erzeugen.
Warum heißt es Photolithographie?
Halbleiterlithographie(Fotolithographie) - Der grundlegende Prozess . Die Herstellung eines integrierten Sch altkreises (IC) erfordert eine Vielzahl von physikalischen und chemischen Prozessen, die auf einem Halbleitersubstrat (z. B. Silizium) durchgeführt werden. … Das Wort Lithographie kommt vom griechischen lithos, was Steine bedeutet, und graphia, was schreiben bedeutet.