Welche der folgenden Aussagen beschreibt den Fotolithografieprozess am BESTEN? a. Der Prozessschritt, der ein Muster in eine darunter liegende Schicht oder die Masse des Substrats überträgt. … Der Prozessschritt, der ein Muster definiert und in eine Lackschicht auf dem Wafer überträgt.
Was ist ein Photolithographieprozess?
Photolithographie ist der Prozess zum Übertragen geometrischer Formen auf einer Maske auf die Oberfläche eines Siliziumwafers. Die beim fotolithografischen Prozess beteiligten Schritte sind die Waferreinigung; Sperrschichtbildung; Anwendung von Fotolack; weiches Backen; Maskenausrichtung; Exposition und Entwicklung; und hart backen.
Was sind die drei grundlegenden Schritte des Fotolithografieprozesses?
Photolithographie verwendet drei grundlegende Prozessschritte, um ein Muster von einer Maske auf einen Wafer zu übertragen: beschichten, entwickeln, belichten. Das Muster wird in einem nachfolgenden Prozess in die Oberflächenschicht des Wafers übertragen.
Was ist Photolithographie an einem Beispiel beschreiben?
1: Lithografie, bei der fotografisch präparierte Platten verwendet werden. 2: ein Prozess, bei dem ein Muster fotografisch auf eine Oberfläche zum Ätzen übertragen wird (wie bei der Herstellung einer integrierten Sch altung) Andere Wörter aus der Fotolithographie Beispielsätze Erfahren Sie mehr über Fotolithographie.
Was sind die Anforderungen an die Fotolithographie?
Im Allgemeinen aDer Photolithographieprozess erfordert drei Grundmaterialien, Lichtquelle, Photomaske und Photoresist. Photoresist, ein lichtempfindliches Material, hat zwei Arten, positiv und negativ. Der positive Fotolack wird löslicher, nachdem er einer Lichtquelle ausgesetzt wurde.
